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概述 N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(HNT)是一种光酸发生器(PAG)，在紫外线照射下形成酸，可用于生成图案结构。它还可以通过形成酸键来调节聚合物的溶解度。 用途 N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯可以用来形成有图案的纳米颗粒，在半导体器件的体积制造中找到潜在的应用。它还可用于沸石的光响应性孔重开，有利于气体渗透过程的调节。紫外辐照三甲基硅基超薄纤维素基薄膜可以在HNT存在下形成PAG。